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ARTICLES日本CKD半導體電動執(zhí)行器 帶導桿型GSTS 采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動,支持 16 級速度調(diào)節(jié)(5~500mm/s)和 64 點位置細分,可滿足半導體晶圓微米級定位需求(如檢測設備中探頭的精密移動)。 搭配 ECMG 控制器時,支持實時扭矩監(jiān)控,可通過 IO-Link 遠程調(diào)整參數(shù),避免過載損傷工件。
日本CKD半導體電動執(zhí)行器旋轉型FGRC 采用蝸輪 + 皮帶傳動,支持 16 級速度調(diào)節(jié)(20~200°/s)和 10 級位置細分,可滿足半導體晶圓微米級定位需求(如檢測設備中傳感器的精密旋轉)。 搭配 ECR 控制器時,支持實時扭矩監(jiān)控,可通過 IO-Link 遠程調(diào)整參數(shù),避免過載損傷工件。
日本CKD半導體電動執(zhí)行器滑臺型FLCR 采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動,支持 16 級速度調(diào)節(jié)(5~300mm/s)和 10 級位置細分,可滿足半導體晶圓微米級定位需求(如檢測設備中傳感器的精密移動)。 搭配 ECR 控制器時,支持實時扭矩監(jiān)控,可通過 IO-Link 遠程調(diào)整參數(shù),避免過載損傷工件。
日本CKD半導體電動執(zhí)行器雙夾爪夾持型FLSH 電動驅動精準可控:區(qū)別于氣動夾爪的 “剛性夾持”,F(xiàn)LSH 系列通過伺服電機驅動,支持16 級夾持力調(diào)節(jié)(最小調(diào)節(jié)單位 1N)和無級速度調(diào)節(jié)(5~50mm/s),可根據(jù)工件材質靈活適配(如對陶瓷芯片用 5N 輕柔夾持,對金屬外殼用 40N 穩(wěn)固夾持),避免工件劃傷或脫落。
日本CKD半導體電動執(zhí)行器3夾爪夾持型DCKW 高精度定心夾持:3 夾爪呈 120° 對稱分布,相比 2 夾爪能自動對中工件(定心≤0.02mm),尤其適合圓形 / 環(huán)形工件(如軸承、齒輪、密封圈)。 電動驅動優(yōu)勢: 相比氣動夾持器,夾持力 / 速度可精確編程(避免氣動 “力不可控” 導致的工件損傷); 無氣源依賴,減少氣管布局,降低車間噪音及能耗。
日本CKD半導體電動執(zhí)行器GCKW GCKW 系列采用三爪聯(lián)動卡盤設計,單側行程達 3mm(總行程 6mm),最大夾持力 29N,可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm 的晶圓或圓柱形工件。其重復定位精度達 ±0.02mm,通過內(nèi)置螺旋彈簧機構實現(xiàn)自鎖,斷電時仍能保持夾持力,避免工件墜落風險。
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